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 产品名称：XYZ直线电机滑台 产品提要： -- 直线轴XYZ纳米级定位精度 ；；；；；； -- 细密交织滚柱导轨。 。。。。 。。。 -- 主体铝合金材质 产品精度： -- XY轴重复精度±100nm -- Z轴重复精度±200nm |  产品名称：XYθ平台 产品提要： -- 直线轴XY+旋转轴θ电机平台 ；；；；；； -- 小行程细密运动场合 ；；；；；； 产品精度： -- XY轴重复精度±0.5μm -- θ旋转轴精度±2.5arcsec |  产品名称：耦合平台 产品提要： -- 直线轴XYZ+旋转轴ABC共6轴电机平台 ；；；；；； -- 适用光纤耦合 ；；；；；； 产品精度： -- XYZ轴重复精度0.3μm -- ABC旋转轴重复精度±1.5arc sec |
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